Ross Optical | OEM Optics | Hard-to-Find Optical Components
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激光镜设计的权衡对光学系统的影响
许多光学系统需要的镜子在可制造性上面临极限挑战,同时需要提供近乎完美的反射率和反射波前控制。因此,在设计过程中,光学系统设计师或任何选择用于激光引导的光学镜子的人,提前与光学涂层工程师沟通是非常有利的。毕竟,优化系统性能要求深入了解镜子反射率、波前、重量、热机械性能、激光损伤阈值和成本之间的权衡。
许多激光镜子是布拉格反射镜,依赖于多次菲涅尔反射和光学干涉来通过多层介电薄膜堆叠的交替高低折射率薄膜来提高反射率。这类镜子通常采用真空物理气相沉积(PVD)技术制造,包括蒸发和溅射方法(见图1)。
蒸发PVD需要在真空下加热金属氧化物和氟化物至蒸发或升华点,使蒸发的材料在真空腔内凝结到光学元件上,从而形成介电薄膜。溅射PVD则是通过离子源(离子束溅射)或受磁约束的等离子体(磁控溅射)加速贵气体离子撞击靶材。
在真空腔内,材料从靶材溅射至光学元件,以形成薄膜。蒸发原子的动能小于0.5 eV,而助离子或溅射原子的能量可达到数百电子伏特。到达光学表面的高能原子会重新排列并形成更紧密的结构。
不同的涂层技术在应用中并不是“万能”的。一般来说,溅射技术能制造出密度更高、散射更低且应力更大的镜子。虽然蒸发涂层在许多紫外线(UV)和脉冲高能激光应用中仍有其优势和应用前景。
反射率
布拉格反射镜的最大反射率最终受到其组成薄膜中散射和吸收的限制。在近红外(近IR)中,使用蒸发技术可以实现大于99.9%的反射率,而使用离子束溅射(IBS)技术则可以达到大于99.999%的反射率。
随着波长的下降,薄膜损失因散射和吸收而增加。了解相位对反射率的影响也至关重要。根据菲涅尔方程,当光线入射于镜子表面的角度增加时,s-极化光在每个薄膜边界的反射率增加,而p-极化光的反射率则会下降,直到达到布鲁斯特角。要在高角度实现相同的理论反射率,需要更多的层来反射p-极化光,而不是s-极化光。这对镜子的损耗和反射波前均有影响。在高角度,p-极化光在镜子堆叠中停留的时间比s-极化光更长,导致更高的由于吸收和散射造成的损失以及更低的整体反射率。对于高质量、低损耗的IBS薄膜,这种反射率的差异较小,通常以百万分之几来衡量。对于蒸发的近红外镜子,s-和p-极化光在高角度下的反射率差异可高达数十分之一个百分点。
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